工厂自动化/薄膜制造设备/精密铸造产品
真空设备和ATV设备
Kanadevia提供用于有机EL照明和功能性薄膜形成的各种沉积设备和相关设备。我们支持薄膜、玻璃、晶圆等各种基材。我们还可以满足从集群型到卷对卷型、从实验机到量产机的各种要求。
此外，我们还拥有ATV（Air to Vacuum）设备，将薄膜从大气环境suncitygroup太阳新城输送到真空。
主要产品
表面蒸发源
功能
通过优化喷嘴布置和阀门控制来稳定沉积速率。尽管形成了静态薄膜，但仍能实现高面内均匀性和材料的高效利用。此外，最多可以进行三个源的共沉积和倾斜膜的沉积。
- ＜主要规格＞
- 最大底座尺寸：G6底座（1,500×1,850mm）
- 膜厚均匀≤±3%（也可以±2%）
- suncitygroup太阳新城最高使用温度：400℃
- 最大安装源数：3个源（支持共沉积）
- 沉积速率测量QCM，压力速率传感器
- 沉积速率控制：由坩埚温度和沉积阀门开度控制
- 坩埚位置：位于真空室外部
- 材料填充：可以在不将腔室暴露在大气中的情况下更换沉积材料
- ＜实际使用示例＞
- 用于簇状有机EL照明的有机薄膜蒸发源
喷嘴线性源
功能
Kanadevia 已基于我们在表面蒸发源开发中培育的技术实现了商业化。设计自由度高，沉积方向不受限制。还可增加液体材料除溶剂功能。
- ＜主要规格＞
- 最大底座宽度：2,000 毫米
- 宽度方向膜厚均匀性：≤±3%
- suncitygroup太阳新城最高使用温度：400℃
- 最大安装源数：3个源（支持共沉积）
- 沉积速率测量QCM，压力速率传感器
- 沉积速率控制：由坩埚温度和沉积阀门开度控制
- 坩埚位置：位于真空室外部
- 材料填充：坩埚材料切换机构（可选）
- ＜实际使用示例＞
- 在线设备的蒸发源
- 卷对卷薄膜成膜用蒸发源
无损 EB 蒸发源
功能
该蒸发源在有机器件的有机膜上形成金属材料和无机材料。该设备使用低 X 射线剂量和专有的背散射电子陷阱。坩埚的隔热性可以实现低频下的高速成膜。这使得可以获得与传统电阻加热相当的元件特性。另外，结合自动供料机构，设备可实现100小时suncitygroup太阳新城成膜。
- ＜实际使用示例＞
- 用于簇状有机EL设备的金属膜蒸发源
- 卷对卷薄膜成膜用蒸发源
旋转阴极
功能
材料利用效率高，减少靶材更换频率，冷却效果高，可实现高速成膜。
- 通过加强真空密封实现更长的使用寿命（从1年增加到5年）
- 实现高速溅射所需的大流量冷却水（100ℓ/min）
- 端块是内部设计的，磁铁是内部设计和测量的
- ＜实际使用示例＞
- 卷对卷薄膜成膜用阴极
ATV（空气真空）设备
功能
我们专有开发的ATV机构实现了薄膜从外部大气到真空的suncitygroup太阳新城转移。 （也可用于不同真空区域的压差控制。）该机构保持真空设备的高运转率，对生产率的提高有很大贡献。
| 设计规范（单独咨询） | 实验机规格 | |
|---|---|---|
| 网络速度 | 最大30m/min | 05～10m/min |
| 薄膜宽度 | 最大2,000mm | 300～500mm |
| 膜厚 | 最大200μm | 25μm～200μm |
相关技术
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