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suncitygroup太阳新城设备和ATV设备

Kanadevia为有机EL照明和功能性膜形成提供了各种沉积设备和相关设备。我们支持各种基本材料,例如胶片,玻璃和摇摆。我们还响应了从集群类型到卷到滚动类型的各种要求,以及从实验机到大规模生产机器。

此外,我们还设有ATV(suncitygroup太阳新城吸尘器)设备,可将膜连续从大气环境传输到suncitygroup太阳新城。

主要产品

表面蒸发源

功能

通过最佳喷嘴布置和阀门控制稳定沉积速率。这实现了材料目的地的高平面均匀性和高效利用的静态膜的形成。
此外,可以执行最多三个来源的共同沉积和倾斜膜的沉积。

  • <main规格>
    • 最大基础尺寸:G6基础(1,500×1,850mm)
    • 均匀膜厚度≤±3%(±2%也是可能的)
    • 连续最大使用温度:400℃
    • 已安装来源的最大数量:3个来源(支持同源)
    • 沉积速率测量QCM,压力率传感器
    • 沉积速率控制:由坩埚温度和阀门打开
    • 坩埚位置:位于suncitygroup太阳新城室外面
    • 材料填充:可以更换沉积材料,而无需将腔室暴露在大气中
  • <实际用途的示例>
    • 聚集有机el Lighting的有机膜蒸发来源

喷嘴线性源

功能

Kanadevia基于在我们的表面蒸发来源开发中培养的技术实现了商业化。设计自由度很高,沉积方向也不有限。还可以添加用于液体材料的溶液去除功能。

  • <main规格>
    • 最大基本宽度:2,000毫米
    • 宽度方向的膜厚度均匀性:≤±3%
    • 连续最大使用温度:400℃
    • 安装来源的最大数量:3个来源(支持同源)
    • 沉积速率测量QCM,压力率传感器
    • 沉积速率控制:由坩埚温度和阀门打开
    • 坩埚位置:位于suncitygroup太阳新城室外面
    • 材料填充:坩埚材料的开关机制(可选)
  • <实际用途的示例>
    • 在线设备的蒸发来源
    • 滚动胶片膜的蒸发来源

damageless eb蒸发源

功能

这种经济源形成有机设备中有机膜上的金属材料和无机材料。该设备使用低X射线剂量和专有的反向散射电子陷阱。坩埚的热绝缘层可以在低频下形成高速膜。这使得获得与常规电阻加热相当的元素特征。
另外,通过结合材料的自动供应机制,设备可实现100小时的连续膜形成。

  • <实际用途的示例>
    • 集群有机设备的金属膜经济来源
    • 滚动胶片膜的蒸发来源

旋转阴极

功能

材料利用的高效率降低了目标更换的频率,而高冷却效果可实现高速膜形成。

  • 通过加强suncitygroup太阳新城密封(从1年增加到5年)来实现更长的寿命
  • 实现高速溅射所需的大量冷却水流量(100°/min)
  • 端块是在内部设计的,并且在内部设计和测量磁铁
  • <实际用途的示例>
    • 滚动胶片膜的阴极

ATV(空气到suncitygroup太阳新城)设备

功能

我们独家开发的ATV机制实现了膜从外部大气的连续转移到suncitygroup太阳新城。 (它也可以用于不同suncitygroup太阳新城区域的差压力控制。)该机制保持了很高的suncitygroup太阳新城设备运行速率,并极大地有助于提高生产率。

设计规格(单独咨询) 实验机规范
网络速度 最大30m/min 05至10m/min
电影宽度 最大2,000mm 300-500mm
电影厚度 最大200µm 25µm至200µm

相关技术

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