FA/胶片制造处理suncitygroup太阳集团，精密铸造
suncitygroup太阳集团设备，ATV设备
我们为有机EL照明和功能性膜形成提供了各种蒸气沉积suncitygroup太阳集团和相关suncitygroup太阳集团。它支持各种底物，例如膜，玻璃和晶圆，并满足从实验机到大量生产的机器，从群集类型到滚动类型的各种要求。
我们还有一个ATV（suncitygroup太阳集团吸尘器）设备，该设备将膜从大气中连续运输到suncitygroup太阳集团。
主要服务和产品
表面蒸发来源
功能
通过最佳的喷嘴排列并通过阀门控制稳定沉积速度，尽管是固定的膜形成，但它仍可以实现高平面均匀性和高材料利用效率。它也可以与多达三个来源和蒸发胶片共同沉积。
- <main规格>
- 最大板尺寸G6板（1,500 x 1,850mm）
- 安装厚度≦±3％（±2％也是可能的）
- 最大连续工作温度400
- 最大安装来源数：3个来源（可能的共同蒸发）
- 蒸发率测量QCM，压力类型速率传感器
- 蒸气沉积速率控制：基于坩埚温度和阀门的控制
- 位于suncitygroup太阳集团室外面的坩埚位置
- 材料填充：可以更换蒸发的材料，而无需暴露室内大气
- <实践示例>
- 群集类型有机EL照明的有机膜蒸发来源
喷嘴类型线性源
功能
我们已经根据通过表面蒸发来源开发培养的技术制造了该产品。设计具有高度的自由度，可用于蒸气沉积的任何方向。还可以添加用于液体材料的溶剂启动机制。
- <main规格>
- 最大板宽度2,000mm
- 宽度方向膜厚度均匀性≦±3％
- 最大连续工作温度400
- 最大安装来源数：3个来源（可能的共同蒸发）
- 沉积速率测量QCM，压力类型速率传感器
- 蒸气沉积速率控制：基于坩埚温度和阀门的控制
- 位于suncitygroup太阳集团室外的坩埚位置
- 材料填充坩埚材料开关机构（可选）
- <实践示例>
- 内联suncitygroup太阳集团的蒸发来源
- 卷到滚动膜沉积的蒸发来源
无坝EB蒸发来源
功能
一种蒸发来源，将金属和无机材料沉积在有机suncitygroup太阳集团的有机膜上。它使用低X射线剂量和独特的反射电子陷阱机制，而坩埚的热隔热允许在低温下形成高速膜。它可以达到与常规电阻加热相同水平的元素特性。另外，通过结合自动材料供应机制，可以实现100小时的连续膜形成。
- <实践示例>
- 集群类型有机ELsuncitygroup太阳集团的金属膜蒸发来源
- 卷到滚动膜沉积的蒸发来源
旋转阴极
功能
高材料利用效率降低了目标置换的频率，并且由于高冷却效果而进行了高速膜形成。
- 通过增强suncitygroup太阳集团密封（1至5年）
- 为大冷却水流（100升/分钟）实现高速溅射
- endblock是在内部设计的，并且在内部设计和测量磁铁
- <实践示例>
- 卷到滚动膜沉积的阴极
ATV（空气到suncitygroup太阳集团）设备
功能
专有的ATV机制使膜从大气中连续运输到suncitygroup太阳集团。 （它也可以用于控制不同suncitygroup太阳集团区域的差压力。）该机制保持了高suncitygroup太阳集团设备的工作速度，从而极大地有助于提高生产率。
| 设计规格（单独咨询） | 实验机规范 | |
|---|---|---|
| 运输速度网络速度 | 最大30m/min | 05至10m/min |
| 电影宽度电影宽度 | 最大2,000mm | 300-500mm |
| 基板厚度电影厚度 | 最大200µm | 25µm至200µm |
相关技术
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