FA/薄膜制造加工设备、精密铸造产品
真空设备、ATV设备
我们提供用于有机EL照明和功能性膜形成的各种气相沉积设备和相关设备。对应薄膜、玻璃、晶圆等各种基材，从实验机到量产机，从集群式到卷对卷式，能够满足各种需求。
我们还有ATV（空气到真空）设备，可连续将薄膜从大气输送到真空。
主要服务和产品
平面蒸发源
功能
通过优化喷嘴布置并通过阀门控制稳定沉积速率，尽管静态成膜，我们仍然实现了高面内均匀性和高材料利用效率。我们还可以使用最多三个源和蒸发梯度膜进行共蒸发。
- ＜主要规格＞
- 最大板尺寸G6板（1,500×1,850mm）
- 膜厚均匀度≤±3%（±2%也可以）
- 最高连续工作温度400℃
- 安装源的最大数量：3 个源（可共蒸发）
- 气相沉积速率测量QCM，压力式速率传感器
- 蒸发速率控制通过坩埚温度和蒸发阀开度控制
- 坩埚位置置于真空室外
- 材料填充：可以在不将腔室暴露于大气的情况下更换蒸发材料
- ＜实际示例＞
- 簇型有机EL照明用有机薄膜蒸发源
喷嘴式线性源
功能
我们基于表面蒸发源开发的技术，已将该产品商业化。suncitygroup太阳集团自由度高，可以选择沉积方向。您还可以为液体材料添加溶剂去除机制。
- ＜主要规格＞
- 最大板宽2,000mm
- 宽度方向膜厚均匀度≤±3%
- 最高连续工作温度400℃
- 安装源的最大数量：3 个源（可共蒸发）
- 气相沉积速率测量QCM，压力速率传感器
- 蒸发速率控制通过坩埚温度和蒸发阀开度控制
- 坩埚位置置于真空室外
- 材料填充坩埚材料切换机构（可选）
- ＜实例＞
- 在线设备的蒸发源
- 用于卷对卷薄膜沉积的蒸发源
无损电子束蒸发源
功能
这是一种蒸发源，用于在有机器件的有机薄膜上沉积金属和无机材料。通过采用低X射线剂量、独特的背散射电子陷阱机制和绝缘坩埚，可以实现低温高速成膜。可以获得与传统电阻加热相同水平的元件特性。另外，通过组合自动供料机构，可以进行100小时的连续成膜。
- ＜实例＞
- 簇型有机EL器件用金属膜蒸发源
- 用于卷对卷薄膜沉积的蒸发源
旋转阴极
功能
高材料利用效率减少靶材更换频率，高冷却效果实现高速成膜。
- 通过加强真空密封延长使用寿命（1→5年）
- 实现高速溅射所需的大流量冷却水（100ℓ/min）
- 端块是内部suncitygroup太阳集团的，磁铁也是内部suncitygroup太阳集团和测量的
- ＜实例＞
- 卷对卷薄膜沉积阴极
ATV（空气真空）设备
功能
独特开发的ATV机构实现了薄膜从大气到真空的连续传输。 （也可用于控制不同真空区域的压差。）该机构保持真空设备的高运转率，对提高生产率有很大贡献。
| suncitygroup太阳集团规范（单独咨询） | 实验机规格 | |
|---|---|---|
| 运输速度网络速度 | 最大30m/min | 05～10m/min |
| 薄膜宽度薄膜宽度 | 最大2,000mm | 300～500mm |
| 基材厚度膜厚 | 最大200μm | 25μm～200μm |
相关技术
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